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2. 常用的传感器技术 2.2 电阻式传感器

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2022-09-08 / 0 评论 / 589 阅读 / 0 点赞

2. 常用的传感器技术

2.2 电阻式传感器

电阻式传感器
电阻式传感器

2.2.1 电阻式应变传感器

电阻式应变传感器是利用电阻应变片将应变转换为电阻的变化,从而实现电测非电量的传感器。电阻应变片的工作原理是基于电阻应变效应。即在导体产生机械变形时,它的电阻值相应发生变化

导体受力作用后几何尺寸发生变化
导体受力作用后几何尺寸发生变化

2.2.1.1 金属材料的应变电阻效应

电阻应变效应: 当金属丝在外力作用下 发生机械变形时其电阻值将发生彼变化

对于半径为 的圆导体, ,由材料力学可知,

几何尺寸变化:

压阻效应:

金属材料的电阻相对变化与其 **线应变 ** 成正比。这就是 金属材料的应变电阻效应。

2.2.1.2 半导体材料的应变电阻效应

锗、硅等单晶半导体材料也具有压阻效应,即:

式中, 为作用于材料上的轴向应力; 为半导体在受力方向的压阻系数; 围殴半导体材料的弹性模量。

考虑材料形变导致的电阻变化,半导体材料的电阻变化率可表示为:

式中, 为半导体丝材的 应变灵敏系数

导体受力作用后几何尺寸发生变化
导体受力作用后几何尺寸发生变化

由以上分析可知,外力作用而引起的轴向应变,将导致电阻丝的电阻成比例地变化,通过转换电路可将这种电阻变化转换为电信号输出。这就是应变片测量应变的基本原理。利用金属或半导体材料电阻丝(也称应变丝)的应变电阻效应,可以制成测量试件表面应变的敏感元件。为在较小的尺寸范围内敏感应变,并产生较大的电阻变化,通常把应变丝制成栅状的应变敏感元件,即电阻应变计,简称应变片

2.2.1.3 应变片的结构

电阻应变片构造示意图: 1、接线;2、覆盖层;3、敏感栅;4、基板
电阻应变片构造示意图: 1、接线;2、覆盖层;3、敏感栅;4、基板

金 属导体( 3 :导线或箔)固定在具有栅极形状的绝缘基板( 4 )上,以制作电阻应变传感器,称为敏感栅。敏感栅两端为接线( 1 );敏感栅极上方为保护覆盖层( 2 )。

2.2.1.4 应变片灵敏度系数

将金属丝做成应变片后,其灵敏度系数 通常不等于“标称灵敏系数 ” , 的值是对一批应变片产品进行抽样测定,得到的各灵敏度系数的平均值。

2.2.1.5 应变片的温度误差及补偿

2.2.1.5.1 温度误差

用应变计测量时,通常希望工作温度是恒定的,实际应用时工作温度可能发生变化,致使应变计的工作特性改变而影响输出。这种由温度变化引起应变计输出变化的现象,称为应变片的温度效应

原因有二:

(1) 应变片敏感栅本身存在温度效应 ;

(2) 试件材料敏感材料线膨胀系数不同 ,使应 变片产生附加应变。

(1) 敏感栅电阻随温度的变化引起的误差 。当环境温度变化 时,敏感栅材料电阻温度系数为 ,则引起的电阻相对变化为:

其中

(2) 试件材料的线膨胀引起的误差。当温度变化 时,因试件材料线膨胀系数 和敏感栅材料的线膨胀系数 不同,应变片将产生附加拉长(或压缩),引起电阻相对变化 。

因此,由温度变化而引起的总电阻变化为:

相应的虚假应变输出为:

2.2.1.5.2 电阻应变片的温度补偿

(1) 应变片自补偿法

通过精心选配敏感栅材料与结构参数,使得当温度变化时,产生的附加应变为零或相互抵消。

选择式自补偿应变片,也称单丝自补偿应变片。

通过选择合适的敏感栅材料使温度变化引起的应变片电阻变化导致的虚假应变线膨胀系数不同导致的虚假应变互相抵消。也就是

优点:容易加工,成本低,

缺点:只适用特定试件材料,温度补偿范围也较窄。

双丝自补偿应变片

选用两种具有不同符号的电阻温度系数的金属丝,调整 的比例,使温度变化时产生的电阻变化满足:

(2) 桥路补偿法

桥路补偿,也称电桥补偿法,是引入补偿应变片构成测量电桥,是最常用而且效果较好的温度补偿方法。

桥路补偿法
桥路补偿法

(3) 热敏电阻补偿法

如下图所示,热敏电阻 处在与应变片相同的温度条件下,当应变片的灵敏度随温度升高而下降时 ,热敏电阻 的阻值也下降,从而提高电桥的输出,以补偿因应变片引起的输出下降 。选择分流电阻 的值,可以得到良好的补偿效果。

热敏电阻补偿法
热敏电阻补偿法

2.2.1.6 应变片测量电路

2.2.1.6.1 单臂工作电桥

一个桥臂上为电阻应变片,其他桥臂上为固定电阻,如图所示。设 为电阻应变片, 为固定电阻。设应变片未承受应变时阻值为 ,电桥处于平衡状态,即满足 ,电桥输出电压 为 0 ;当承受应变时,应变片产生 的变化, 的实际阻值变为 ,电桥不平衡,输出电压为:

,

称为 电桥电压灵敏度

提高电源电压 或调节桥臂比 ,可以提高单臂电桥的灵敏度。当电源电压一定时,如果 ,则可以有最大的电压灵敏度。此时,电压灵敏度为 ,输出电压为:

2.2.1.6.2 双臂工作电桥

若在两个桥臂上接入电阻应变片,其他桥臂上为固定电阻,构成双臂工作电桥,如下图所示。设 为电阻应变片, 为固定电阻。设应变片未承受应变时阻值为 ,电桥处于平衡状态,即满足 , 电桥输出电压为 0 ;当承受应变时,应变片 的电阻增大 ,应变片 的电阻减小 ,且有 ,这种电桥也称为差动电桥。

双臂工作电桥
双臂工作电桥

双臂电桥输出电压为:

由上式可知,差动电桥的输出是线性的没有非线性误差问题。与单臂电桥相比,灵敏度提高了一倍

2.2.1.6.3 全臂工作电桥
全臂工作电桥
全臂工作电桥

若四个桥臂上为全为电阻应变片,即构成全桥工作电桥。若 ΔR1=ΔR2=ΔR3=ΔR4 ,构成差 动全桥。电桥输出电压为:

差动全桥的灵敏度是单臂电桥的 4 倍,是双臂差动电桥的 2 倍。

2.2.1.7 电阻应变式传感器及其应用

应变片主要有两个方面的应用:

一是作为敏感元件 ,直接用于被测试件的应变测量;

另一方面则是作为转换元件 ,通过弹性元件构成传感器,用以对任何能转变成弹性元件应变的其他物理量作间接测量 , 比如用作测力传感器。

(1)应变式力传感器

柱式力传感器
柱式力传感器

对一根细杆施加一个力 ,这个力除以杆的截面积 ,称为"线应力" ,杆的伸长量 除以原长 ,称为"线应变" 。线应力除以线应变就等于杨氏模量

(2) 悬臂梁式力传感器

等截面梁应变传感器结构图
等截面梁应变传感器结构图

传感器为悬臂梁式传感器。悬臂梁端部受质量块惯性力作用,距端部 处的应变为:

2.2.2 热电阻传感器

1. 定义

热电阻传感器是利用金属或半导体的电阻值随温度变化的特性对与温度相关的参量进行检测的装置。

2. 应用

测温、测温范围主要在中低温区

3. 金属铂热电阻

( 1 )铂电阻的结构

( 2 )热电特性 (

对纯度一定的铂热电阻, 为一常数

精度要求不高时,

( 3 )测量温度的方法

查分度表法 : 根据 的关系,每隔 制成即 的关 系表, 测得热电阻的阻值 ,从分度表上查出对应的温度值。 在线编写查表程序。

公式计算法 : 由测得的热电阻阻值,由热电特性公式计算出相应的温度值。

( 4 )铂热电阻的种类

温度为 时, 分度号分别为

( 5 )铂热电阻的温度系数

4. 热敏电阻

( 1 )定义

利用半导体材料的电阻率随温度变化的性质而制成的温度敏感元件。

( 2 )工作机理

( 3 ) 热敏电阻热电特性 (

材料常数 的确定:

测量 ,计算

温度灵敏度的确定:

( 4 )热敏电阻的伏安特性

$T

热敏电阻的伏安特性

避免电流过大, 电阻体产生自热。

5. 热电阻传感器的应用

金属热电阻传感器

温度测量,测量电路采用电桥电路。

工业用铂电阻采用三线制测量电路和四线制测量电路。

三线制补偿原理

​ 电桥的相临两个桥臂增加了相同导线电阻,差动输出后,可消除导线电阻的影响。

三线制测量电路

输出电压:

( 2 )热敏电阻传感器

① 温度控制

温度控制器

​ 实现某一小温度范 围 的温度控制 。

​ ② 温度补偿

补偿原理

合理选择电路参数,使

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